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產品處理

 

Pellicle必須在任何時候保持潔淨,不僅在無塵室的檢驗、儲存、及用潔淨盒和潔淨袋包裝出貨時,同時也需考量於光罩貼合後在儲存及使用期間仍能保持潔淨。期望在這些步驟上不會再產生微塵或污染,實際上過多的處理及檢驗步驟會降低Pellicle的潔淨品質。通常很多不同大小及形狀的Pellicle必須在同一個地方處理,因此自動化是很難的,用人來處理是唯一的解決方式。甚至拿起一片Pellicle來檢驗都是一件很難的工作,而且可能變成污染的來源,拿Pellicle不是一件簡單的工作,如果能將Pellicle大小標準化可能是解決我們一些處理的一個很好的想法。

靜電控制
控制靜電的重要性在pellicle處理時是不可能被過分強調的。Pellicle是一些塑膠製品組合,膜、墊片、及背膠片等的處理過程均很容易產生靜電。舉例來說,從底膠上撕下墊片或背膠片將產生2000伏特的靜電,如果不儘快中和會立刻吸引週遭環境的微塵到Pellicle上。另外包裝的材料如包裝盒、包裝袋、及儲存的容器都是塑膠製品,在生產線處理這些包裝材料將很容易產生靜電及吸附微塵到工作的區域。因此在工作區域內控制靜電放電(electrostatic discharge (ESD))是很重要的,在適當的氣流條件下,應使用恰當的抗靜電設備來降低靜電放電並達到至少於10秒內將1000伏特降為100伏特而減少污染及靜電的吸引。沒有潔淨及正確的靜電放電環境,污染可能產生而導致光罩的瑕疵,使得光罩無法通過進料及出貨檢驗甚至不能再使用。正確的氣流系統也是必須的,以確保貼合機器及工作桌上的潔淨度。

貼合
將pellicle放在光罩上即所謂的貼合。理想上應該是由自動處理及檢驗的貼合機器來完成貼合的工作。然在實際貼合的操作中,從Pellicle上撕除墊片或背膠片均可能產生靜電和污染,因此一部簡單且易於保持乾淨的貼合機器加上人員的檢驗仍是一個較好的解決方案。

在將pellicle貼合於光罩時,均勻的力量是必須的。貼合使用的夾具也會破壞Pellicle的框架及造成污染,因此貼合使用的工具應該隨時保持潔淨,以防止交叉污染的可能發生。在貼合機器上使用一套健全的抗靜電環境加上很好的氣流平台是非常重要的。雖然貼合的準度是一定要達到,但是對於許多不同大小的Pellicle而言Pellicle生產者及儀器設計間的溝通也是必要的,顏永財先生發明出一套將Pellicle置於貼合板上並將整個包裝出貨至客戶端9的程序,因此客戶在處理的過程中將不須直接碰觸到Pellicle本身,且經過pellicle的檢驗後就可以將整個包裝放置在簡易的貼合機器上進行貼合的程序。

清潔
如果微塵掉落在膜上可以使用氣槍來吹除,尤其是有加裝過濾器並使用針狀出風口的去離子氣槍或氮氣槍是很好的選擇。氣槍吹除對於大顆的微塵有效,但是若沒有小心使用有可能產生一些細小的微塵且污染潔淨室的環境。

在使用多家Pellicle供應商的光罩公司,清除Pellicle在光罩上的殘膠是一項很具挑戰性的工作,因為各個Pellicle供應商使用不同的底膠。不同的Pellicle供應商可能提供不同的清潔方式或因應之道。


Credit:
Yung-Tsai Yen, Ching-Bore Wang, and Richard Heuser.  "Chapter 19: Pellicles."
Handbook of Photomask Manufacturing Technology. Ed. Syed Rizvi. Boca Raton: CRC, 2005. 406-407. Print.
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