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歷史沿革

 

Pellicle即表示是膜或薄膜的意思。從60年代起,一種將薄膜展開在金屬框架上而被稱為Pellicle的元件,就於光學儀器上作為分光器使用。由於其厚度超薄不會造成光線路徑偏移的特性,它也曾被用於一些儀器的分光器上。 在1978年,Shea 先生等人於IBM取得使用所謂的Pellicle做為防止灰塵掉落至光罩的製程專利權,此為半導體界開始應用Pellicle之濫觴。在往後的章節中,我們將會使用Pellicle的字眼來表示覆蓋在光罩上的防塵薄膜。


Credit:
Yung-Tsai Yen, Ching-Bore Wang, and Richard Heuser.  "Chapter 19: Pellicles."
Handbook of Photomask Manufacturing Technology. Ed. Syed Rizvi. Boca Raton: CRC, 2005. 396. Print.
產品技術
光罩防塵護膜