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Pellicle的功能
使用Pellicle最主要有兩種目的,一是增加晶片生產良率,另一是減少光罩於使用時之清潔和檢驗。pellicle是一個薄膜展開在框架上,以保護光罩避免微塵的污染。

品質政策
為確保精確的品質控管程序,每一個產品將設定序號以利能容易地追蹤到每個產品的生產過程。除了有效的產品品質追蹤方式外,微相公司擁有超過二十年的產品製程及檢測經驗,因此對於產品品質的控管及保證方面也有顯著的貢獻。

產品政策
身為光罩護膜的創始領導廠商,微相公司已經擁有完整的產品項目來滿足客戶的需求。產品項目包含broadband film、I-,G-line film、DUV film、ArF film及TFT-LCD film等皆已獲得客戶認證及廣泛使用。